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EVOS

Asymmetric bias waveform generator for direct control of substrate voltage and ion energy

FEATURES ?Abilitytoproducenearmono-energeticionenergydistributions ?Pulsecapabilitywithnecessaryinputandoutputsignalsforsynchronization ?Directswitch-moduleintegrationreplacesexistingRFmatchingnetworks ?Real-timebiasvoltageandioncurrentfeedbackviahigh-speedm

ADVANCEDENERGYAdvanced Energy Industries, Inc.

先進能源工業(yè)先進能源工業(yè)公司

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更多EVOS供應(yīng)商 更新時間2025-1-15 9:18:00

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