圖給出了一種用濺射工藝制作的銻化鋼霍爾元件的結(jié)構(gòu),它由襯底、十字形霍爾元件、電極引線及磁性體頂端等構(gòu)成。十宇形霍爾元件的四個端部的引線中,有一對是電流輸入端,另一對為霍爾電壓輸出端。磁性體頂端是為了集中磁力線和提高元件靈敏度而設(shè)置的,它的體積越大,元件的輸出靈敏度越高。
圖:銻化銦霍爾元件的結(jié)構(gòu) 來源:university
圖給出了一種用濺射工藝制作的銻化鋼霍爾元件的結(jié)構(gòu),它由襯底、十字形霍爾元件、電極引線及磁性體頂端等構(gòu)成。十宇形霍爾元件的四個端部的引線中,有一對是電流輸入端,另一對為霍爾電壓輸出端。磁性體頂端是為了集中磁力線和提高元件靈敏度而設(shè)置的,它的體積越大,元件的輸出靈敏度越
圖給出了一種用濺射工藝制作的銻化鋼霍爾元件的結(jié)構(gòu),它由襯底、十字形霍爾元件、電極引線及磁性體頂端等構(gòu)成。十宇形霍爾元件的四個端部的引線中,有一對是電流輸入端,另一對為霍爾電壓輸出端。磁性體頂端是為了集中磁力線和提高元件靈敏度而設(shè)置的,它的體積越大,元件的輸出靈敏度越高。
圖:銻化銦霍爾元件的結(jié)構(gòu) 來源:university