一、前言
從技術(shù)的角度分類,氣體傳感器主要可分為:半導(dǎo)體型氣體傳感器、電化學(xué)型氣體傳感器、PID 氣體傳感器、光化學(xué)型氣體傳感器、接觸燃燒式氣體傳感器等。
半導(dǎo)體氣體傳感器適用面廣,簡單易用,在家用燃?xì)鈾z測、禮品、智能家電等領(lǐng)域大量應(yīng)用,是目前氣體傳感器中應(yīng)用最為廣泛的品種。電化學(xué)氣體傳感器非常適合低濃度毒性氣體檢測,以及氧氣和酒精等無毒氣體的檢測,目前主要應(yīng)用在各種工業(yè)領(lǐng)域以及道路交通安全檢測領(lǐng)域。催化燃燒式氣體傳感器適用于可燃?xì)怏w檢測,主要在煤礦領(lǐng)域檢測瓦斯使用。紅外氣體傳感器適用于檢測甲烷、二氧化碳等氣體,在目前的實際應(yīng)用中以二氧化碳產(chǎn)品應(yīng)用居多,主要應(yīng)用在暖通空調(diào)與室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)控、工業(yè)過程及安全防護(hù)監(jiān)控、農(nóng)業(yè)及畜牧業(yè)生產(chǎn)過程監(jiān)控等領(lǐng)域。PID 傳感器則主要用于極低濃度的揮發(fā)性氣體檢測(VOC)。
二、半導(dǎo)體氣體傳感器
自從 1962 年半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來,半導(dǎo)體氣體傳感器已經(jīng)成為當(dāng)前應(yīng)用最普遍、最具有實用價值的一類氣體傳感器,根據(jù)其氣敏機(jī)制又可以分為電阻式和非電阻式兩種。
電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器主要是指半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器,是一種用金屬氧化物薄膜(例如:Sn02,ZnO Fe203,Ti02 等)制成的阻抗器件,其電阻隨著氣體含量不同而變化。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應(yīng)速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不夠理想、功率要求高。
非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是二極管式以及場效應(yīng)管式(MOSFET)半導(dǎo)體氣體傳感器。其工作電流或電壓隨著氣體含量而變化,主要檢測氫和天然氣等可燃性氣體。其中,MOSFET 氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物擴(kuò)散到 MOSFET 的柵極,改變了器件的性能。通過分析器件性能的變化而識別 VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性,并可改變工作溫度。MOSFET 氣體傳感器靈敏度高,但制作工藝比較復(fù)雜,成本高。
三、電化學(xué)型氣體傳感器
電化學(xué)型氣體傳感器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類型。原電池式氣體傳感器通過檢測電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù),市售的檢測缺氧的儀器幾乎都配有這種傳感器,近年來,又開發(fā)了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式傳感器??煽仉娢浑娊馐絺鞲衅魇峭ㄟ^測量電解時流過的電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù),和原電池式不同的是,需要由外界施加特定電壓,除了能檢測 CO,NO,N02,02,S02 等氣體外,還能檢測血液中的氧體積分?jǐn)?shù)。電量式氣體傳感器是通過被測氣體與電解質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生的電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù)。離子電極式氣體傳感器出現(xiàn)得較早,通過測量離子極化電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù)已電化學(xué)式氣體傳感器主要的優(yōu)點是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。
四、光學(xué)式氣體傳感器
光學(xué)式氣體傳感器包括紅外吸收型、光譜吸收型、熒光型、光纖化學(xué)材料型等,主要以紅外吸收型氣體分析儀為主,由于不同氣體的紅外吸收峰不同,通過測量和分析紅外吸收峰來檢測氣體。這類傳感器具有高抗振能力和抗污染能力,與計算機(jī)相結(jié)合,能連續(xù)測試分析氣體,具有自動校正、自動運(yùn)行的功能。
光纖氣敏傳感器的主要部分是兩端涂有活性物質(zhì)的玻璃光纖?;钚晕镔|(zhì)中含有固定在有機(jī)聚合物基質(zhì)上的熒光染料,當(dāng) VOC 與熒光染料發(fā)生作用時,染料極性發(fā)生變化,使其熒光發(fā)射光譜發(fā)生位移。用光脈沖照射傳感器時,熒光染料會發(fā)射不同頻率的光,檢測熒光染料發(fā)射的光,可識別 VOC。
五、PID 氣體傳感器
PID(Photo Ionization Detector)光離子傳感器 PID 利用紫外光源將被測氣體激發(fā)電離產(chǎn)生正、負(fù)離子。這些電離的微粒產(chǎn)生的電流經(jīng)過檢測器的放大,就能在儀表上顯示 ppm 級的濃度。這些離子經(jīng)過電極后很快就重新組合到一起變成原來的有機(jī)分子。在此過程中分子不會有任何損壞;PID 不會“燒毀”也不用經(jīng)常更換標(biāo)樣氣體,這樣一來,經(jīng)過 PID 檢測的氣體仍可被收集做進(jìn)一步的測定。
PID 氣體探測器能夠檢測極低濃度揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)和其它有毒氣體。尤其是對 VOC 的靈敏檢測使其在應(yīng)急事故檢測中具有無可替代的作用。
六、催化燃燒式氣體傳感器
催化燃燒式傳感器的工作原理是氣敏材料(如 Pt 電熱絲等)在通電狀態(tài)下,可燃性在催化劑作用下氧化燃燒,電熱絲由于燃燒而生溫,從而使其電阻值發(fā)生變化。這種傳感器對不燃燒氣體不敏感,因而可以專門檢測各種可燃?xì)怏w,普遍適用于石油化工廠、造船廠、礦井隧道和浴室廚房的可燃性氣體的監(jiān)測和報警。該傳感器在環(huán)境溫度下非常穩(wěn)定,并能對處于爆炸下限的絕大多數(shù)可燃性氣體進(jìn)行檢測。
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